1. Identificação | |
Tipo de Referência | Relatório (Report) |
Site | mtc-m21c.sid.inpe.br |
Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
Identificador | 8JMKD3MGP3W34R/42QRPK5 |
Repositório | sid.inpe.br/mtc-m21c/2020/07.08.19.26 |
Última Atualização | 2020:07.08.19.26.38 (UTC) simone |
Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m21c/2020/07.08.19.26.38 |
Última Atualização dos Metadados | 2022:09.14.20.07.12 (UTC) administrator |
Chave de Citação | SilvaBalFerBelAma:2014:CaÓpMo |
Título | Características ópticas e morfológicas do silício poroso produzido por processo de anodização em soluções HF-Acetonitrila e HF-Etanol |
Ano | 2014 |
Data de Acesso | 01 maio 2024 |
Tipo | RDP |
Número de Páginas | 44 |
Número de Arquivos | 1 |
Tamanho | 3939 KiB |
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2. Contextualização | |
Autor | 1 Silva, Belchior Elton Lima da 2 Baldan, Maurício Ribeiro 3 Ferreira, Neidenêi Gomes 4 Beloto, Antônio Fernando 5 Amaral Júnior, Miguel Angelo |
Identificador de Curriculo | 1 2 8JMKD3MGP5W/3C9JHTA 3 8JMKD3MGP5W/3C9JHU3 4 8JMKD3MGP5W/3C9JGJ8 |
Grupo | 1 2 LAS-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR 3 LAS-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR 4 LAS-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR 5 LAS-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR |
Afiliação | 1 Universidade Federal de São Paulo (UNIFESP) 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 4 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 5 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
Endereço de e-Mail do Autor | 1 belchior.elton@unifesp.br 2 baldan@las.inpe.br |
Instituição | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais |
Cidade | São José dos Campos |
Histórico (UTC) | 2020-07-08 19:26:38 :: simone -> administrator :: 2022-09-14 20:07:12 :: administrator -> simone :: 2014 |
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3. Conteúdo e estrutura | |
É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
Estágio do Conteúdo | concluido |
Transferível | 1 |
Palavras-Chave | silício poroso anodização |
Resumo | Este trabalho tem como objetivo estudar o efeito de alguns parâmetros experimentais (Tempo de ataque, densidade de corrente e composição do eletrólito) nas características morfológicas do silício poroso. Amostras de silício poroso podem ser produzidas a partir de diversas técnicas, as amostras contidas nesse relatório foram obtidas a partir do processo de anodização eletroquímica do silício monocristalino, esse método possibilita a obtenção de poros com diferentes morfologias, diâmetros e profundidades. Na anodização eletroquímica o substrato de silício é o eletrodo de trabalho, que é polarizado anodicamente. Neste caso utilizou-se um contra eletrodo de Platina, pois essa é inerte ao HF. Esses eletrodos foram inseridos em uma cuba eletrolítica também inerte ao eletrólito. As amostras foram obtidas a partir de lâminas de silício tipo-n, com orientação cristalográfica <100> e resistividade 1-20 Ω.cm. Na primeira etapa do trabalho avaliou-se o efeito do tempo de ataque nas características do PS. Para isso, variou-se a duração do processo de anodização (5, 10, 15, 20 e 30 min.) mantendo-se os outros parâmetros constantes. Os resultados demonstraram que, em ataques a partir de 20 minutos, as camadas porosas apresentam maior homogeneidade. Na segunda etapa da pesquisa o parâmetro estudado foi a densidade de corrente utilizada durante a anodização. Para avaliar o efeito desse parâmetro nas características do PS, foram realizados ataques de 20 minutos, onde se variou a corrente aplicada nas amostras (5, 10, 15, 20, 25, 30, 35 mA), mantendo os outros parâmetros experimentais constantes. Os resultados obtidos indicam que a condição ótima foi atingida na amostra de 30 mA. Por fim, estudou-se o efeito da composição do eletrólito no poro. Nessa terceira etapa foram realizados ataques de 20 minutos, utilizando-se uma corrente elétrica igual a 30 mA. Variou-se a molaridade de HF na solução eletrolítica, mantendo os outros parâmetros experimentais constantes. As características das amostras foram analisadas a partir da Microscopia Eletrônica de Varredura (morfologia superficial, diâmetro e profundidade dos poros) e da perfilometria óptica (rugosidade superficial das amostras, profundidade dos poros e área superficial total). |
Área | FISMAT |
Arranjo 1 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Características ópticas e... |
Arranjo 2 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Acervo PIBIC/PIBITI > PIBIC/PIBITI 2014 > Características ópticas e... |
Conteúdo da Pasta doc | acessar |
Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
Conteúdo da Pasta agreement | |
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4. Condições de acesso e uso | |
URL dos dados | http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34R/42QRPK5 |
URL dos dados zipados | http://urlib.net/zip/8JMKD3MGP3W34R/42QRPK5 |
Arquivo Alvo | Belchior Elton Lima da Silva.pdf |
Grupo de Usuários | simone |
Visibilidade | shown |
Permissão de Leitura | allow from all |
Permissão de Atualização | não transferida |
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5. Fontes relacionadas | |
Repositório Espelho | urlib.net/www/2017/11.22.19.04.03 |
Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ESR3H2 8JMKD3MGPDW34P/478H8PH |
Lista de Itens Citando | sid.inpe.br/mtc-m21/2012/07.13.14.56.32 4 sid.inpe.br/mtc-m21/2012/07.13.14.56.52 2 sid.inpe.br/mtc-m16c/2022/07.08.19.46 1 |
Divulgação | BNDEPOSITOLEGAL |
Acervo Hospedeiro | urlib.net/www/2017/11.22.19.04 |
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6. Notas | |
Notas | Bolsa PIBIC/INPE/CNPq |
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7. Controle da descrição | |
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